Material de Evaporación
La evaporación es un método común de deposición de película delgada. El material de base se evapora en el vacío. El vacío permite que las partículas de vapor para viajar directamente al objeto de destino (sustrato), donde se condensa de nuevo a un estado sólido.
La evaporación se utiliza en la micro fabricación, y para hacer productos macro-escala, como la película de plástico metalizado.
La evaporación implica dos procesos básicos: a calientes se evapora materiales de base y condensados en el sustrato. Se asemeja al proceso familiar por que Aparece agua líquida en la tapa de una olla hirviendo. Sin embargo, el ambiente gaseoso y la fuente de calor (ver “Equipo” a continuación) son diferentes.
La evaporación tiene lugar en un vacío, es decir, vapores demás que la del material se eliminan casi en su totalidad antes de que comience el proceso. En alto vacío (con una larga trayectoria libre media), partículas evaporadas pueden viajar directamente a la meta sin chocar con la deposición del gas de fondo. (Por el contrario, en el ejemplo la olla de ebullición, el vapor de agua empuja el aire fuera de la olla antes de que pueda llegar a la tapa.) A una presión típica de 10-4 Pa, una partícula de 0,4-nm: tiene un recorrido libre medio de 60 m. Los objetos calientes en la cámara de evaporación, tales como filamentos de calefacción, producir vapores indeseables que limitan la calidad de la aspiradora.
El uso de una fuente de arranque proporciona un proceso más permanente que resulta incompatible y en la evaporación uniforme ya que la topografía de las babosas se elimina. Esto proporciona un área más uniforme para el haz de barrido. Esto se traduce en un uso más coherente de la energía que requiere menos ajuste para alcanzar tasas de recubrimiento óptimos.
Babosas de evaporación: Disponible en tamaños estándar (0125 x 0125 y 0,25 pulgar x 0,25 en ..) o cortar a sus especificaciones.
Shots: offert en varios tamaños, desde 0.040 pulgar. a 0,118 pulgar.
Fuentes de arranque: Muchos disponibles en diferentes tamaños con volúmenes que van desde 5 cc a 155 cc.
El abridor de fuentes de evaporación hechas en los corazones de los sistemas de haces de electrones. Pueden ser utilizados para la fabricación de productos en una amplia variedad de industrias, incluyendo dispositivos inalámbricos, LEDs, dispositivos médicos, revestimientos ópticos, recubrimientos funcionales y más.
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